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擴(kuò)散硅壓力變送器溫度漂移的原因

更新時(shí)間:2017-07-15點(diǎn)擊次數(shù):2853

漂移是壓力變送器不可避免的特性,其中一個(gè)本質(zhì)的原因是壓力傳感器的彈性材料的疲勞問(wèn)題,不論是哪種材質(zhì),每次彈性形變回復(fù)后,都會(huì)有彈性疲勞的產(chǎn)生。使用不同彈性材料的壓力傳感器的漂移根據(jù)材質(zhì)不同有所區(qū)別,只要是合格的產(chǎn)品,這個(gè)漂移會(huì)控制在一個(gè)可接受的范圍內(nèi)。

       除了材料本身導(dǎo)致的漂移,還有溫度漂移,溫度漂移指的是因溫度變化而引起的壓力傳感器的輸出變化。溫度漂移其實(shí)也是因?yàn)椴牧系奶匦砸鸬?,很多材料?duì)溫度也很敏感。所以,壓力傳感器通常會(huì)進(jìn)行溫度補(bǔ)償,溫度補(bǔ)償?shù)姆椒ㄊ遣捎昧硪环N溫度特性相反的材料抵消溫度引起的變化,或者用數(shù)字補(bǔ)償技術(shù)。

       擴(kuò)散硅壓力變送器早期是采用擴(kuò)散硅芯片和金屬基座之間用玻璃粉封接,缺點(diǎn)是壓力芯片的周?chē)嬖谥^大的應(yīng)力,即使經(jīng)過(guò)退火處理,應(yīng)力也不能*消除。當(dāng)溫度發(fā)生變化時(shí),由于金屬、玻璃和擴(kuò)散硅芯片熱澎脹系數(shù)的不同,會(huì)產(chǎn)生熱應(yīng)力,使傳感器的零點(diǎn)發(fā)生漂移。這就是為什么傳感器的零點(diǎn)熱漂移要比芯片的零點(diǎn)熱漂移大得多的原因。采用銀漿和接線柱焊接,處理不好,容易造成接點(diǎn)電阻不穩(wěn)定。特別是在溫度發(fā)生變化時(shí),接觸電阻更易變化,這些因素是造成傳感器零點(diǎn)時(shí)漂、溫漂大的原因。

       后來(lái)的金硅共熔焊接方法可以在很大程度上減小漂移,將擴(kuò)散硅和基座之間采用金硅共熔封接,因?yàn)榻鸨容^軟應(yīng)力小,引壓管是玻璃管將之燒結(jié)到硅環(huán)上,玻璃管和底座用高溫膠粘接,為測(cè)表壓,在玻璃管外粘接一金屬管,通到大氣中。擴(kuò)散硅電阻條組成惠斯登電橋,用高摻雜的方法形成導(dǎo)電書(shū),將電橋和分布在周邊的鋁電極可靠地連接起來(lái),而不采用通常蒸鋁,反刻形成鋁帶的方法,這樣做有助于減小傳感器的滯后,鋁電極和接線柱之間用金絲壓焊和超聲焊,使接點(diǎn)處的電阻比較穩(wěn)定。

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